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馗鼎DLC/PVD纳米复合硬质涂层设备

日期: 2015-08-12    来源:中国刀具商务网

馗鼎DLC/PVD纳米复合硬质涂层设备
馗鼎DLC/PVD纳米复合硬质涂层设备

  1.等离子体辅助化学气相沉积系统(PECVD):

  系统主要分为:DLC系统(PEC500)、Me/DLC系统(PEC500-S)

  1.1 DLC专用设备(PEC500)

  DLC涂层采PECVD技术制备,涂层细致且平滑,有别于arc/sputter系统制备的Me-DLC。表面平滑程度可应用至光学模具等级之范畴。

  单层DLC涂层专用机型,自制核心技术,无需金属中介层,与基材附着性优异

  制程温度<250℃,基材限制少

  非铁合金切削性能优异,与白刀相比,寿命增益高达2倍以上。高光铝用刀应用等

  应用范畴:模具(塑料射出、粉末冶金、铝挤型、光盘)、生医、封装、自润磨耗零组件、装饰性表壳、机壳等。

  1.2Me/DLC设备(PEC500-S)

  整合Sputter PVD及PECVD技术,可制备纳米复合Me/DLC涂层。

  以Sputter系统制备具细致柱状结构之金属氮碳化物涂层并额外提供PECVD系统之平滑磨润之DLC膜层,可延伸应用至需耐冲击磨耗之应用场合,如:冲压/锻造/整平模具、冲棒、汽车零组件等。

  PVD Sputter系统为非平衡磁控溅镀系统,可增加其镀膜区域之离子浓度、靶材电流密度提高、结构较为致密平整、沉积速率也较平衡式系统高。可制备高质量之PVD功能性涂层。

  复合系统具备弹性且应用较广之功能性

  2.阴极多弧系统(欧洲技术):

  系统分为圆形靶系统(PVN500-C8、PVN650-C12)、矩形靶系统(PVN500-R4)

  系统均采八边形不锈钢腔体,系统设计优化,不仅加热均匀,在不换靶材情况下,可制备超过5种以上涂层种类。

  夹层式水路冷却,可均匀冷却腔体制程受热状况,有效提升腔体使用年限

  真空零配件均采进口组件,设备稳定性高

  搭载进口超高真空全磁浮真空涡轮帮浦,可抽至5*10-5torr。

  特殊几何形状档板(遮蔽靶源),避免靶材的污染

  8轴3转公自转机构,产能大且膜层分布均匀。Ex:D6*L50的立铣刀,在500型产能可高达2400pcs。

  置具台车方便Loading/Unloading生产,增加日产能,进而降低生产成本

  全自动化镀膜生产,可远程网络诊断及程序除错,避免不必要的专人看顾

  标准涂层种类:TiN、CrN、TiAlN、AlTiN。

  特色化涂层种类:ZrN、TiX-H、R7、AlTiCrN、AlCrN、AlTiSiN、TS(配合PECVD)、TA(配合PECVD)。

  馗鼎纳米科技股份有限公司简介

  1.馗鼎纳米科技股份有限公司系由专业之等离子、材料及机电等技术团队,以研发新等离子技术与新薄膜制程为本公司之核心能力,其中本公司以自组开发的阴极电弧系统所制备之AlTiN、AlTiCrN、TiX-H、ZrN、R7…等系列薄膜质量与其机械性质皆不输进口知名镀膜设备之薄膜。

  2. 馗鼎的DLC类金钢石涂层,更是引领镀膜业界,为全台湾首屈一指DLC涂层代工厂商,优异的磨润性质、表面细致平滑、硬度高且与基材之结合性,颠覆一般DLC附着性不佳之刻板印象。而馗鼎的DLC应用在非铁类金属(铝、铜合金…等)加工、射出成型模具脱膜、锻造模具延寿、机械零件等抗磨耗均有优异之效果。

  3.馗鼎本着”服务”与”品质”为其经营宗旨,致力于提供优质、高稳定性之真空镀膜设备,以保证客户生产良率及质量可领先群雄,期待与客户建立互信互利之长期合作关系。

馗鼎DLC/PVD纳米复合硬质涂层设备

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